CTI半導(dǎo)體檢測(cè)及分析中心，致力于為消費(fèi)品級(jí)、工業(yè)品級(jí)及車(chē)規(guī)級(jí)半導(dǎo)體行業(yè)客戶(hù)提供一站式測(cè)試、分析及認(rèn)證解決方案。目前實(shí)驗(yàn)室分別引入Thermo Fisher、HANWA ELECTRONIC雙品牌ESD測(cè)試平臺(tái)。

　　Thermo Fisher MK4規(guī)格

　　Thermo Fisher MK4高管腳數(shù)ESD測(cè)試機(jī)，可以滿(mǎn)足多管腳數(shù)芯片測(cè)試需求。

　　相比傳統(tǒng)的Thermo Fisher MK2測(cè)試機(jī)，Thermo Fisher MK4支持最高2304pins，避免了多余的轉(zhuǎn)板手續(xù)，大幅提高了ESD測(cè)試效率。

• 支持2304pin；
• 滿(mǎn)足HBM/LU最新規(guī)范；
• HBM最高測(cè)試能力達(dá)8KV；
• LU測(cè)試有7組電源供應(yīng)；
• 內(nèi)建Curve Tracer可在ESD測(cè)試前、后進(jìn)行IV量測(cè)；
• 高電壓高電流+/-10V/10A 100V/1A；
• 速度特快，10 pulse/Sec；
• 支持QFN/QFP/SOP/SOT/BGA等封裝。

　　HANWA ELECTRONIC N5000規(guī)格

　　HANWA ELECTRONIC N5000專(zhuān)業(yè)檢測(cè)儀器，可進(jìn)行HBM/MM/Latch-up等專(zhuān)業(yè)檢測(cè)。其特色在于機(jī)臺(tái)到GND距離長(zhǎng)度極短，減少了繼電器寄生電容，提升了測(cè)試準(zhǔn)確性和可靠性。

• 支持768pin；
• 滿(mǎn)足HBM/LU最新規(guī)范；
• HBM最高測(cè)試能力達(dá)8KV；
• LU測(cè)試有7組電源供應(yīng)；
• 內(nèi)建Curve Tracer可在ESD測(cè)試前、后進(jìn)行IV量測(cè)；
• 高電壓高電流+/-10V/10A 100V/1A；
• 速度與Thermo Fisher MK2一致；
• 支持QFN/QFP/SOP/SOT/BGA/CSP等封裝。

　　常見(jiàn)測(cè)試問(wèn)題答疑

　　問(wèn)：MK2和MK4是GND relay free的嗎？

　　答：MK2和MK4不是GND relay free的設(shè)備，是用relay，對(duì)所有的Pin腳進(jìn)行接觸的設(shè)備。

　　問(wèn)：機(jī)臺(tái)GND relay寄生電容對(duì)MM，CDM波形有影響嗎？

　　答：MM測(cè)試的時(shí)候，一般要使用socket board進(jìn)行測(cè)試。機(jī)臺(tái)在和Socket board接觸的時(shí)候，是relay進(jìn)行接觸的，所以MM的波形是受到寄生電容的影響的。但是，由于MM是200pF 0ohm的放電模型，放電電流會(huì)比較大，因此受寄生電容的影響會(huì)比HBM小一些。CDM在測(cè)試的時(shí)候不使用Socket board，所以不受寄生電容的影響。

　　問(wèn)：ESD HBM測(cè)試IO to IO時(shí)，由于大部分pin都已經(jīng)接入，還會(huì)有寄生電容的影響嗎？

　　答：對(duì)沒(méi)有接地的Pin來(lái)說(shuō)，也是有可能產(chǎn)生比較大的寄生電容的，所以還是會(huì)受到寄生電容的影響。

　　問(wèn)：ESD寄生電容是從測(cè)試角度看的分析，但是從ESD保護(hù)角度看，GCMOS也會(huì)設(shè)計(jì)電容來(lái)保護(hù)電路，那么機(jī)臺(tái)對(duì)這種大電容芯片有好處還是壞處？

　　答：無(wú)論是何種形式的保護(hù)電路，寄生電容都會(huì)有不好的影響。因?yàn)榧纳娙菔菍?dǎo)致HBM波形發(fā)生失真的原因，波形失真的話(huà)，就不會(huì)得到滿(mǎn)足規(guī)范的測(cè)試。

　　問(wèn)：如何解決寄生電容問(wèn)題？

　　答：在傳統(tǒng)的ESD測(cè)試中，寄生電容問(wèn)題一直是一個(gè)挑戰(zhàn)。MK4測(cè)試機(jī)采用繼電器進(jìn)行接觸，不是GND relay free設(shè)備，CTI華測(cè)檢測(cè)充分考慮到了這一點(diǎn)，并提供了專(zhuān)業(yè)的解決方案。

　　在HBM和MM測(cè)試中，CTI華測(cè)檢測(cè)使用Socket board進(jìn)行測(cè)試。雖然受到寄生電容的影響，但在CDM測(cè)試中，不使用Socket board，從而避免了寄生電容的影響。

　　CTI華測(cè)檢測(cè)擁有ESD領(lǐng)域資深技術(shù)團(tuán)隊(duì)，為客戶(hù)提供專(zhuān)業(yè)的測(cè)試報(bào)告和技術(shù)支持。CTI在上海、合肥、中國(guó)臺(tái)灣新竹等地設(shè)有ESD/LU實(shí)驗(yàn)室，配備專(zhuān)業(yè)的ESD檢測(cè)儀器，確保為客戶(hù)提供高質(zhì)量的ESD測(cè)試服務(wù)。